一种MEMS热电堆红外探测器的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010672907.8

申请日：

2020-07-13

公开(公告)号：

CN111924796A

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

毛海央张琛琛陈大鹏

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100 G01J502 G01J512 H01L3532 H01L3534

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

解立艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20200713
2020-11-13	公开	公开
2020-12-18	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B81B 7/02 登记生效日:20201204 变更事项:申请人变更前权利人:无锡物联网创新中心有限公司变更后权利人:江苏创芯海微科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 变更后权利人:214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号E2-112
2022-06-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B81B 7/02 申请公布日:20201113

共 50 条

[1]

一种MEMS热电堆红外探测器 [P].

张琛琛 ;

毛海央 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN111896121A ,2020-11-06

[2]

MEMS热电堆红外探测器 [P].

李俊萍 ;

张新伟 ;

蔡清华 ;

薛静静 ;

潘守彬 .

中国专利 :CN118999799A ,2024-11-22

[3]

一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法 [P].

张琛琛 ;

丁雪峰 ;

毛海央 .

中国专利 :CN111470469A ,2020-07-31

[4]

一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法 [P].

许高斌 ;

杨朝晖 ;

陈士荣 ;

陈兴 ;

马渊明 ;

王琪 ;

李海生 .

中国专利 :CN112113670B ,2020-12-22

[5]

MEMS热电堆红外探测器芯片 [P].

李刚 ;

桑新文 .

中国专利 :CN202195888U ,2012-04-18

[6]

一种MEMS热电堆红外探测器 [P].

丁雪峰 ;

张琛琛 ;

毛海央 .

中国专利 :CN112903117A ,2021-06-04

[7]

一种MEMS热电堆红外探测器 [P].

朱健 ;

王丹丹 ;

周智君 .

中国专利 :CN214334037U ,2021-10-01

[8]

一种热电堆及其制备方法、热电堆红外探测器 [P].

周娜 ;

毛海央 ;

李俊杰 ;

高建峰 ;

杨涛 ;

李俊峰 .

中国专利 :CN114335317A ,2022-04-12

[9]

高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法 [P].

毛海央 ;

欧文 ;

吴文刚 ;

欧毅 .

中国专利 :CN103207021B ,2013-07-17

[10]

一种热电堆红外探测器 [P].

李吉光 ;

李晓坤 ;

徐一舟 .

中国专利 :CN112951974A ,2021-06-11

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