一种异质薄膜结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011271579.7

申请日：

2020-11-13

公开(公告)号：

CN112382559A

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

欧欣孙嘉良林家杰游天桂

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L2118

IPC分类号：

H01L21265 H01L21266 H01L2178 H01L29267

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;贾允

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/18 申请日:20201113
2021-02-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种异质薄膜结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

孙嘉良 ;

林家杰 ;

游天桂 .

中国专利 :CN112382559B ,2024-06-11

[2]

一种异质压电薄膜结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 ;

赵晓蒙 ;

鄢有泉 ;

李忠旭 .

中国专利 :CN111883644A ,2020-11-03

[3]

异质薄膜结构的制备方法 [P].

欧欣 ;

鄢有泉 ;

黄凯 ;

李忠旭 ;

游天桂 ;

王曦 .

中国专利 :CN110880920B ,2020-03-13

[4]

异质薄膜复合结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

林家杰 ;

黄凯 ;

游天桂 ;

王曦 .

中国专利 :CN110391131A ,2019-10-29

[5]

基于多层异质薄膜结构的气体传感器及其制备方法 [P].

张福政 ;

林启敬 ;

毛琦 ;

仙丹 ;

杨昊霖 ;

赵立波 ;

张南 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN117761133A ,2024-03-26

[6]

一种柔性薄膜结构制备方法 [P].

彭斌 ;

高令桥 ;

张万里 ;

彭定康 ;

王芝昊 ;

陈瑞超 .

中国专利 :CN118241270A ,2024-06-25

[7]

一种异质外延基板及其制备方法和异质外延薄膜的转移方法 [P].

沈玲燕 ;

刘强 ;

俞文杰 .

中国专利 :CN120583724A ,2025-09-02

[8]

异质集成结构及其制备方法 [P].

熊敏 ;

朱杰 .

中国专利 :CN120758969B ,2025-11-14

[9]

异质集成结构及其制备方法 [P].

熊敏 ;

朱杰 .

中国专利 :CN120758969A ,2025-10-10

[10]

一种ZnO/NiO异质结构有序多孔薄膜及其制备方法 [P].

赵建伟 ;

秦丽溶 ;

贾小亚 ;

杨彩风 .

中国专利 :CN104465987A ,2015-03-25

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