一种异质压电薄膜结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010719055.3

申请日：

2020-07-23

公开(公告)号：

CN111883644A

公开(公告)日：

2020-11-03

发明(设计)人：

欧欣陈阳黄凯赵晓蒙鄢有泉李忠旭

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L4104

IPC分类号：

H01L4108 H01L41083 H01L41253 H01L4127 H01L41312

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;贾允

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 41/04 登记生效日:20220223 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所变更后权利人:上海新硅聚合半导体有限公司变更事项:地址变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号变更后权利人:201800 上海市嘉定区汇源路55号8幢3层J
2021-04-13	授权	授权
2020-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/04 申请日:20200723
2020-11-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种异质薄膜结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

孙嘉良 ;

林家杰 ;

游天桂 .

中国专利 :CN112382559A ,2021-02-19

[2]

一种异质薄膜结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

孙嘉良 ;

林家杰 ;

游天桂 .

中国专利 :CN112382559B ,2024-06-11

[3]

一种压电薄膜结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 .

中国专利 :CN115064639B ,2025-09-19

[4]

一种压电薄膜结构及其制备方法 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 .

中国专利 :CN115064639A ,2022-09-16

[5]

一种压电薄膜结构的制备方法 [P].

刘敬伟 ;

张彦乐 ;

李春龙 ;

周良 ;

李超 ;

张新群 .

中国专利 :CN119894348A ,2025-04-25

[6]

一种单晶压电薄膜结构及制备方法 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 .

中国专利 :CN118900617A ,2024-11-05

[7]

一种柔性单晶压电薄膜结构的制备方法 [P].

彭斌 ;

于江浩 ;

张万里 ;

彭定康 ;

王芝昊 .

中国专利 :CN118524766A ,2024-08-20

[8]

一种压电薄膜结构 [P].

王兴 ;

张必勇 ;

胡军 .

中国专利 :CN206878039U ,2018-01-12

[9]

一种衬底基板/压电材料薄膜结构及其制备方法和应用 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 ;

赵晓蒙 ;

鄢有泉 ;

李忠旭 .

中国专利 :CN111884616A ,2020-11-03

[10]

一种压电薄膜结构 [P].

尤晖 ;

刘亚平 ;

吴严严 ;

卓能聪 ;

石城宇 ;

吴耀光 ;

蒙丹 ;

黄为良 ;

张丽文 ;

阮瑞成 .

中国专利 :CN218211699U ,2023-01-03

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