一种柔性单晶压电薄膜结构的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410566705.3
申请日
2024-05-08
公开(公告)号
CN118524766A
公开(公告)日
2024-08-20
发明(设计)人
彭斌 于江浩 张万里 彭定康 王芝昊
申请人
电子科技大学
申请人地址
611731 四川省成都市高新西区西源大道2006号
IPC主分类号
H10N30/01
IPC分类号
H10N30/093 H10N30/00
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种柔性薄膜结构制备方法 [P]. 
彭斌 ;
高令桥 ;
张万里 ;
彭定康 ;
王芝昊 ;
陈瑞超 .
中国专利 :CN118241270A ,2024-06-25
[2]
一种单晶压电薄膜结构及制备方法 [P]. 
欧欣 ;
陈阳 ;
黄凯 .
中国专利 :CN118900617A ,2024-11-05
[3]
一种压电薄膜结构的制备方法 [P]. 
刘敬伟 ;
张彦乐 ;
李春龙 ;
周良 ;
李超 ;
张新群 .
中国专利 :CN119894348A ,2025-04-25
[4]
一种异质压电薄膜结构及其制备方法 [P]. 
欧欣 ;
陈阳 ;
黄凯 ;
赵晓蒙 ;
鄢有泉 ;
李忠旭 .
中国专利 :CN111883644A ,2020-11-03
[5]
一种多层膜结构衬底上的压电单晶薄膜及其制备方法 [P]. 
欧欣 ;
李忠旭 ;
黄凯 ;
赵晓蒙 ;
李文琴 ;
鄢有泉 ;
陈阳 .
中国专利 :CN111834518A ,2020-10-27
[6]
一种压电薄膜结构及其制备方法 [P]. 
欧欣 ;
陈阳 ;
黄凯 .
中国专利 :CN115064639B ,2025-09-19
[7]
一种压电薄膜结构及其制备方法 [P]. 
欧欣 ;
陈阳 ;
黄凯 .
中国专利 :CN115064639A ,2022-09-16
[8]
一种单晶压电薄膜及其制备方法 [P]. 
欧欣 ;
陈阳 ;
黄凯 .
中国专利 :CN115084352B ,2025-12-12
[9]
一种单晶压电薄膜及其制备方法 [P]. 
欧欣 ;
陈阳 ;
黄凯 .
中国专利 :CN115084352A ,2022-09-20
[10]
一种压电薄膜的简易制备方法 [P]. 
廖擎玮 ;
王家琪 ;
廖瑶瑶 ;
李英豪 ;
秦雷 .
中国专利 :CN119053232A ,2024-11-29