一种单晶压电薄膜及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202210641726.8

申请日：

2022-06-07

公开(公告)号：

CN115084352A

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

欧欣陈阳黄凯

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区汇源路55号8幢3层J

IPC主分类号：

H01L4139

IPC分类号：

H01L4131 H01L41187

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

苗芬芬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种单晶压电薄膜及其制备方法 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 .

中国专利 :CN115084352B ,2025-12-12

[2]

一种复合单晶压电衬底薄膜及其制备方法 [P].

李真宇 ;

杨超 ;

胡文 ;

张秀全 ;

罗具廷 .

中国专利 :CN111128699B ,2020-05-08

[3]

一种单晶单畴压电薄膜及其制备方法 [P].

李真宇 ;

胡文 ;

张秀全 ;

罗具廷 ;

杨超 .

中国专利 :CN110581212A ,2019-12-17

[4]

一种单晶FBAR压电薄膜及其制备方法 [P].

董树荣 ;

轩伟鹏 ;

刘刚 ;

金浩 ;

高峰 ;

骆季奎 .

中国专利 :CN114362704B ,2025-12-12

[5]

一种单晶FBAR压电薄膜及其制备方法 [P].

董树荣 ;

轩伟鹏 ;

刘刚 ;

金浩 ;

高峰 ;

骆季奎 .

中国专利 :CN114362704A ,2022-04-15

[6]

一种压电薄膜及其制备方法 [P].

向勇 ;

胡潇然 .

中国专利 :CN111048659A ,2020-04-21

[7]

单晶压电薄膜异质衬底的制备方法 [P].

欧欣 ;

鄢有泉 ;

黄凯 ;

游天桂 ;

王曦 .

中国专利 :CN110137341B ,2019-08-16

[8]

一种柔性单晶压电薄膜结构的制备方法 [P].

彭斌 ;

于江浩 ;

张万里 ;

彭定康 ;

王芝昊 .

中国专利 :CN118524766A ,2024-08-20

[9]

一种PVDF压电薄膜及其制备方法 [P].

尤晖 ;

吴严严 ;

刘亚平 ;

卓能聪 ;

石城宇 ;

吴耀光 ;

蒙丹 ;

黄为良 ;

张丽文 ;

阮瑞成 .

中国专利 :CN115612145A ,2023-01-17

[10]

基于单晶压电薄膜的声波谐振器及其制备方法 [P].

欧欣 ;

张师斌 ;

黄凯 ;

游天桂 ;

王曦 .

中国专利 :CN108493326A ,2018-09-04

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