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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-02-29 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101290120782 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2008102034774 公开日:20090422 |
| 2009-04-22 | 公开 | 公开 |
| 2010-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005818061 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2008102034774 申请日:20081127 |