一种基于石墨烯的MEMS声学传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710492063.7

申请日：

2017-06-26

公开(公告)号：

CN107318076A

公开(公告)日：

2017-11-03

发明(设计)人：

康晓旭

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号

IPC主分类号：

H04R1900

IPC分类号：

H04R3100

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陈慧弘

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-03	公开	公开
2017-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 19/00 申请日:20170626
2019-09-13	授权	授权

共 50 条

[1]

基于石墨烯的MEMS声学传感器 [P].

李孟委 ;

王莉 ;

杜康 ;

刘俊 ;

李锡广 ;

白晓晓 ;

王增跃 ;

王琪 .

中国专利 :CN102638753B ,2012-08-15

[2]

基于石墨烯的光纤传感器及其制作方法 [P].

朱涛 ;

高磊 .

中国专利 :CN107421913A ,2017-12-01

[3]

基于石墨烯的MEMS压力传感器 [P].

汪学方 ;

刘胜 ;

蒋圣伟 ;

师帅 ;

袁娇娇 ;

方靖 .

中国专利 :CN203629725U ,2014-06-04

[4]

一种多孔石墨烯心音检测传感器及其制作方法 [P].

张旻 ;

刘易鑫 ;

李宏正 ;

钱翔 .

中国专利 :CN108996463A ,2018-12-14

[5]

一种石墨烯压力传感器及其制作方法 [P].

李悦 ;

陆剑 ;

张清 ;

芮磊 ;

吴晓东 .

中国专利 :CN114459637A ,2022-05-10

[6]

一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器 [P].

端木鲁玉 ;

田峻瑜 ;

闫文明 .

中国专利 :CN114132889A ,2022-03-04

[7]

基于石墨烯的化学或生物传感器及其制作方法 [P].

苏瑞巩 ;

王逸群 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN104977347A ,2015-10-14

[8]

一种基于石墨烯膜的超高温传感器及其制作方法 [P].

史慧超 ;

寇照杰 ;

张悦华 ;

李子涵 .

中国专利 :CN117928756A ,2024-04-26

[9]

一种基于石墨烯的干涉型光纤湿度传感器及其制作方法 [P].

肖毅 ;

余健辉 ;

钟永春 ;

罗云瀚 .

中国专利 :CN110006847B ,2024-03-12

[10]

一种基于石墨烯的干涉型光纤湿度传感器及其制作方法 [P].

肖毅 ;

余健辉 ;

钟永春 ;

罗云瀚 .

中国专利 :CN110006847A ,2019-07-12

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