一种可调谐圆抛腔式高功率微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821060090.3

申请日：

2018-07-05

公开(公告)号：

CN208501097U

公开(公告)日：

2019-02-15

发明(设计)人：

季天仁刘文科季宇

申请人：

申请人地址：

610052 四川省成都市成华区龙潭总部经济城华冠路192号B305

IPC主分类号：

C23C16511

IPC分类号：

C23C1627 C23C16455

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

张永革

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种可调谐圆抛腔式高功率微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

季天仁 ;

刘文科 ;

季宇 .

中国专利 :CN108624870A ,2018-10-09

[2]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[3]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[4]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN212505057U ,2021-02-09

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

涂溶 ;

徐伟清 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN105239057A ,2016-01-13

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170A ,2020-11-10

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522921U ,2019-10-22

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522920U ,2019-10-22

[10]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN213142184U ,2021-05-07

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