微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010773689.7

申请日：

2020-08-04

公开(公告)号：

CN111910170A

公开(公告)日：

2020-11-10

发明(设计)人：

牛进毅苗岱

申请人：

申请人地址：

030000 山西省太原市小店区康宁街康宁大厦(山西国际商务中心)A座2406室(入驻太原博皓商务秘书服务有限公司105号)

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1644 C23C16511

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

刘长春

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	公开	公开
2020-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20200804

共 50 条

[1]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[2]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN212505057U ,2021-02-09

[3]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN213142184U ,2021-05-07

[4]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

张进成 ;

苏凯 ;

何琦 ;

郝跃 .

中国专利 :CN212335281U ,2021-01-12

[5]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

张进成 ;

苏凯 ;

何琦 ;

郝跃 .

中国专利 :CN111826635A ,2020-10-27

[6]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

张进成 ;

苏凯 ;

何琦 ;

郝跃 .

中国专利 :CN111826635B ,2024-10-01

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置用风冷屏蔽机构 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

王东 ;

吴勇 ;

袁珂 ;

陈军飞 ;

郝跃 .

中国专利 :CN213507192U ,2021-06-22

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

唐挺 ;

刘艺昭 ;

王曙光 .

中国专利 :CN307770853S ,2023-01-03

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