一种微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021593756.9

申请日：

2020-08-04

公开(公告)号：

CN212335281U

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

任泽阳张金风张进成苏凯何琦郝跃

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16511 C23C16458

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

刘长春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

张进成 ;

苏凯 ;

何琦 ;

郝跃 .

中国专利 :CN111826635A ,2020-10-27

[2]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

张进成 ;

苏凯 ;

何琦 ;

郝跃 .

中国专利 :CN111826635B ,2024-10-01

[3]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN212505057U ,2021-02-09

[4]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN213142184U ,2021-05-07

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170A ,2020-11-10

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[9]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

吴绍河 .

中国专利 :CN217202954U ,2022-08-16

[10]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

吴勇 ;

王东 ;

操焰 ;

崔傲 ;

郝跃 .

中国专利 :CN212955342U ,2021-04-13

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