一种微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021593756.9

申请日：

2020-08-04

公开(公告)号：

CN212335281U

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

任泽阳张金风张进成苏凯何琦郝跃

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16511 C23C16458

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

刘长春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-12	授权	授权

共 50 条

[41]

一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

吴啸 ;

范波 ;

郭兴星 ;

徐帅 .

中国专利 :CN210529058U ,2020-05-15

[42]

一种等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱珠 .

中国专利 :CN206635413U ,2017-11-14

[43]

微波等离子体化学气相沉积设备 [P].

刘文科 ;

李俊宏 ;

胡宗义 .

中国专利 :CN223705738U ,2025-12-23

[44]

一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

郭之健 ;

刘宇晨 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

欧阳晓平 ;

李建林 ;

郭明明 .

中国专利 :CN117702092A ,2024-03-15

[45]

一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

郭之健 ;

刘宇晨 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

欧阳晓平 ;

李建林 ;

郭明明 .

中国专利 :CN117702092B ,2024-06-21

[46]

一种可调谐圆抛腔式高功率微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

季天仁 ;

刘文科 ;

季宇 .

中国专利 :CN208501097U ,2019-02-15

[47]

一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置 [P].

唐伟忠 ;

苏静杰 ;

李义锋 ;

刘艳青 ;

丁明辉 ;

李小龙 ;

姚鹏丽 .

中国专利 :CN103668127B ,2014-03-26

[48]

一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

郭之健 ;

刘宇晨 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

欧阳晓平 .

中国专利 :CN118028972B ,2024-09-27

[49]

一种大面积微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王晓飞 ;

王志毅 ;

丰平 ;

王鸿 ;

夏芃 ;

范振华 ;

范继良 .

中国专利 :CN101481793A ,2009-07-15

[50]

一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

闫宁 ;

范波 ;

吴啸 ;

徐帅 .

中国专利 :CN110306170A ,2019-10-08

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