一种微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021593756.9

申请日：

2020-08-04

公开(公告)号：

CN212335281U

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

任泽阳张金风张进成苏凯何琦郝跃

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16511 C23C16458

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

刘长春

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-12	授权	授权

共 50 条

[21]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

陈天鹏 ;

袁稳 ;

凌天杰 .

中国专利 :CN207016850U ,2018-02-16

[22]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

刘永宁 ;

赵俊芳 .

中国专利 :CN119101889A ,2024-12-10

[23]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203602711U ,2014-05-21

[24]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN203653691U ,2014-06-18

[25]

微波等离子体化学气相沉积装置用风冷屏蔽机构 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

王东 ;

吴勇 ;

袁珂 ;

陈军飞 ;

郝跃 .

中国专利 :CN213507192U ,2021-06-22

[26]

沉积盘以及微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

乐卫平 ;

郭蕾 ;

林桂浩 .

中国专利 :CN218404391U ,2023-01-31

[27]

微波等离子体化学气相沉积装置及其应用 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN108468086B ,2018-08-31

[28]

一种小型微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李志博 ;

李明君 ;

李高金 .

中国专利 :CN119121197A ,2024-12-13

[29]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

刘胜 ;

沈桥 ;

甘志银 .

中国专利 :CN110565160B ,2019-12-13

[30]

一种微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

王宏兴 .

中国专利 :CN103695867A ,2014-04-02

← 1 2 3 4 5 →