一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310674092.7

申请日：

2013-12-10

公开(公告)号：

CN103668127B

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

唐伟忠苏静杰李义锋刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽

申请人：

申请人地址：

050081 河北省石家庄市友谊南大街46号

IPC主分类号：

C23C16511

IPC分类号：

C23C1627

代理机构：

北京金智普华知识产权代理有限公司 11401

代理人：

皋吉甫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581683930 IPC(主分类):C23C 16/511 专利申请号:2013106740927 申请日:20131210
2014-03-26	公开	公开
2015-11-25	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724304125 IPC(主分类):C23C 16/511 专利申请号:2013106740927 登记生效日:20151106 变更事项:申请人变更前权利人:北京科技大学变更后权利人:河北普莱斯曼金刚石科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:100083 北京市海淀区学院路30号变更后权利人:050081 河北省石家庄市友谊南大街46号
2015-12-30	授权	授权

共 50 条

[1]

微波等离子体化学气相沉积装置和合成金刚石的方法 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN108588819A ,2018-09-28

[2]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[3]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[4]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170A ,2020-11-10

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN212505057U ,2021-02-09

[7]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN206635410U ,2017-11-14

[8]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN106835070A ,2017-06-13

[9]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

丁海兵 ;

梁瑞 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 .

中国专利 :CN118979242A ,2024-11-19

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN108588820A ,2018-09-28

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