一种制备高品质碳化硅晶体的热场结构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201821802315.8
申请日
2018-11-02
公开(公告)号
CN209144316U
公开(公告)日
2019-07-23
发明(设计)人
李长进 李加林 李宏刚 刘家朋 孙元行 刘鹏飞 高超
申请人
申请人地址
250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
IPC主分类号
C30B2936
IPC分类号
C30B2300
代理机构
济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232
代理人
吴绍群
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种制备碳化硅晶体的热场结构 [P]. 
高鑫 ;
过逸柯 ;
何方汀 ;
郑佳洋 ;
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朱丽萍 .
中国专利 :CN222594076U ,2025-03-11
[2]
碳化硅晶体生长热场结构 [P]. 
李远田 .
中国专利 :CN223342870U ,2025-09-16
[3]
一种高品质碳化硅晶体的制备方法及其装置 [P]. 
李长进 ;
李加林 ;
李宏刚 ;
刘家朋 ;
孙元行 ;
刘鹏飞 ;
高超 ;
宗艳民 .
中国专利 :CN109518276A ,2019-03-26
[4]
一种制备高品质碳化硅晶体生长装置 [P]. 
高冰 ;
李俊 ;
叶宏亮 .
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[5]
一种碳化硅晶体生长的热场结构 [P]. 
练小正 ;
许照原 .
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[6]
高质量碳化硅籽晶、碳化硅晶体、碳化硅衬底及其制备方法 [P]. 
彭同华 ;
王波 ;
赵宁 ;
娄艳芳 ;
郭钰 ;
张贺 ;
刘春俊 ;
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[7]
制造高品质大尺寸碳化硅晶体的方法 [P]. 
A·鲍威尔 ;
V·F·采夫科夫 ;
M·布拉迪 ;
R·T·莱昂纳德 .
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[8]
一种晶体硅切割废料制备高品质碳化硅的方法 [P]. 
邢鹏飞 ;
姜胜南 ;
崔晓华 ;
刘洋 ;
都兴红 ;
高波 ;
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[9]
一种用于碳化硅晶体生长的热场 [P]. 
龙博腾 ;
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[10]
一种碳化硅晶体的制备方法 [P]. 
王升 ;
陈建军 ;
孔海宽 ;
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