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一种金属掩模版清洁装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022821719.5
申请日
:
2020-11-30
公开(公告)号
:
CN214022295U
公开(公告)日
:
2021-08-24
发明(设计)人
:
潘燕萍
熊超
韩宇豪
刘嘉辉
潘俊杰
李喆遠
申请人
:
申请人地址
:
213129 江苏省常州市新北区孟河镇政泰路288号
IPC主分类号
:
B08B308
IPC分类号
:
B08B1300
代理机构
:
常州西创专利代理事务所(普通合伙) 32472
代理人
:
王一源
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-08-24
授权
授权
共 50 条
[1]
掩模版清洁装置
[P].
张祥平
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张祥平
;
李天慧
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李天慧
;
黄晓橹
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黄晓橹
;
龙海凤
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龙海凤
.
中国专利
:CN208673040U
,2019-03-29
[2]
一种掩模版清洗装置
[P].
苏庆
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苏庆
;
崔永鑫
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崔永鑫
;
刘成
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刘成
;
杨阳
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杨阳
;
陆鹏
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陆鹏
.
中国专利
:CN110026372A
,2019-07-19
[3]
一种掩模版清洁搭载装置
[P].
卢东辉
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机构:
合肥清溢光电有限公司
合肥清溢光电有限公司
卢东辉
.
中国专利
:CN220584541U
,2024-03-12
[4]
一种片状精细金属掩模版
[P].
周俊吉
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机构:
成都拓维高科光电科技有限公司
成都拓维高科光电科技有限公司
周俊吉
.
中国专利
:CN222313261U
,2025-01-07
[5]
精细金属掩模版及掩模装置
[P].
吴建鹏
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吴建鹏
;
梅菊
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梅菊
;
李剑波
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李剑波
;
丁文彪
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丁文彪
.
中国专利
:CN113088879B
,2021-07-09
[6]
一种金属掩模版清洗装置
[P].
李春良
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李春良
;
林佳龙
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林佳龙
;
覃事建
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覃事建
;
匡友元
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匡友元
.
中国专利
:CN104550104A
,2015-04-29
[7]
掩模版清洁装置和方法
[P].
李冬妮
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机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
李冬妮
;
何洪波
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机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
何洪波
.
中国专利
:CN119200323A
,2024-12-27
[8]
掩模版吸盘洁净器及掩模版吸盘清洁方法
[P].
小林嘉仁
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小林嘉仁
;
伊藤正光
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伊藤正光
;
稻田太郎
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稻田太郎
;
渡边淳
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渡边淳
.
中国专利
:CN103782365B
,2014-05-07
[9]
一种用于金属掩模版卷材原料的输送装置
[P].
郑庆靓
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机构:
拓维光电材料(滁州)有限公司
拓维光电材料(滁州)有限公司
郑庆靓
;
汤茂林
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机构:
拓维光电材料(滁州)有限公司
拓维光电材料(滁州)有限公司
汤茂林
;
刘贵福
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机构:
拓维光电材料(滁州)有限公司
拓维光电材料(滁州)有限公司
刘贵福
;
李洋
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机构:
拓维光电材料(滁州)有限公司
拓维光电材料(滁州)有限公司
李洋
.
中国专利
:CN221970701U
,2024-11-08
[10]
掩模版的显影方法以及掩模版的显影装置
[P].
侯广杰
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侯广杰
;
叶小龙
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叶小龙
.
中国专利
:CN112506010A
,2021-03-16
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