产生电感耦合等离子体的设备及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03803544.8

申请日：

2003-02-07

公开(公告)号：

CN1630936A

公开(公告)日：

2005-06-22

发明(设计)人：

权光虎沈载琦

申请人：

申请人地址：

韩国大田市

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

沙捷;刘颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-07-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2005-06-22	公开	公开

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体产生装置及等离子体加工设备 [P].

常楷 .

中国专利 :CN107864545B ,2018-03-30

[2]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[3]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN104867801A ,2015-08-26

[4]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN204614759U ,2015-09-02

[5]

电感耦合等离子体处理设备 [P].

朴孝镇 ;

康松润 ;

朱志胤 .

韩国专利 :CN119028794A ,2024-11-26

[6]

电感耦合等离子体处理设备 [P].

佘清 ;

吕铀 .

中国专利 :CN103578905A ,2014-02-12

[7]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 .

中国专利 :CN2785104Y ,2006-05-31

[8]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 .

中国专利 :CN1812010A ,2006-08-02

[9]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 .

中国专利 :CN1925074A ,2007-03-07

[10]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

陈鹏 .

中国专利 :CN2726076Y ,2005-09-14

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