电感耦合等离子体产生装置及等离子体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610841362.2

申请日：

2016-09-22

公开(公告)号：

CN107864545B

公开(公告)日：

2018-03-30

发明(设计)人：

常楷

申请人：

申请人地址：

100176 北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726

代理人：

陈亚英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-09	授权	授权
2018-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20160922
2018-03-30	公开	公开

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN104867801A ,2015-08-26

[2]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN204614759U ,2015-09-02

[3]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[4]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN101370348A ,2009-02-18

[5]

电感耦合等离子体产生装置及半导体加工设备 [P].

郭士选 ;

韦刚 ;

王炳元 ;

苏恒毅 .

中国专利 :CN110299276B ,2019-10-01

[6]

电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置 [P].

中川良知 ;

一宫丰 .

中国专利 :CN105979692B ,2016-09-28

[7]

等离子体产生装置及等离子体加工设备 [P].

杨靖 ;

刘涛 ;

乐卫平 ;

宋成 ;

张文杰 ;

谢幸光 .

中国专利 :CN222776358U ,2025-04-18

[8]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103165383B ,2013-06-19

[9]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202352478U ,2012-07-25

[10]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202384293U ,2012-08-15

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