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电感耦合等离子体产生装置及半导体加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810235157.0
申请日：
2018-03-21
公开(公告)号：
CN110299276B
公开(公告)日：
2019-10-01
发明(设计)人：
郭士选
韦刚
王炳元
苏恒毅
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
施敬勃
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180321 |
| 2019-10-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-25 | 授权 | 授权 |