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电感耦合等离子体装置及半导体薄膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211014291.0
申请日：
2022-08-23
公开(公告)号：
CN115295389B
公开(公告)日：
2025-07-15
发明(设计)人：
余先炜
田才忠
王美玲
林保璋
申请人：
盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请人地址：
102600 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
代理机构：
北京市竞天公诚律师事务所 11770
代理人：
孙磊;徐民
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-15 | 授权 | 授权 |