电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110421748.5

申请日：

2011-12-15

公开(公告)号：

CN103165383B

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

窦伟李楠李超波夏洋

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	授权	授权
2013-06-19	公开	公开
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101494123552 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2011104217485 申请日:20111215

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202352478U ,2012-07-25

[2]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202384293U ,2012-08-15

[3]

电感耦合等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103165382B ,2013-06-19

[4]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN104867801A ,2015-08-26

[5]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN204614759U ,2015-09-02

[6]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

刘宏 ;

刘晓晗 ;

袁洁静 .

中国专利 :CN201311804Y ,2009-09-16

[7]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 ;

南建辉 .

中国专利 :CN101131893A ,2008-02-27

[8]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

刘宏 ;

刘晓晗 ;

袁洁静 .

中国专利 :CN101409126A ,2009-04-15

[9]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 ;

南建辉 .

中国专利 :CN101136279B ,2008-03-05

[10]

电感耦合等离子体装置 [P].

梁洁 ;

罗伟义 .

中国专利 :CN104103485B ,2014-10-15

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