电感耦合等离子体注入装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110421472.0

申请日：

2011-12-15

公开(公告)号：

CN103165382B

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

窦伟李楠李超波夏洋

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-19	公开	公开
2016-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103165383B ,2013-06-19

[2]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202352478U ,2012-07-25

[3]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202384293U ,2012-08-15

[4]

电感耦合等离子体装置 [P].

梁洁 ;

罗伟义 .

中国专利 :CN104103485B ,2014-10-15

[5]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2785310Y ,2006-05-31

[6]

电感耦合等离子体装置 [P].

蒋中伟 .

中国专利 :CN102468105A ,2012-05-23

[7]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN101370348A ,2009-02-18

[8]

电感耦合等离子体装置 [P].

张宝峰 .

中国专利 :CN2775992Y ,2006-04-26

[9]

电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置 [P].

中川良知 ;

一宫丰 .

中国专利 :CN105979692B ,2016-09-28

[10]

电感耦合等离子体处理设备 [P].

佘清 ;

吕铀 .

中国专利 :CN103578905A ,2014-02-12

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