批处理式基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410559509.X

申请日：

2014-10-20

公开(公告)号：

CN104576445A

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

朴暻完

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20150429
2015-04-29	公开	公开
2016-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101677510551 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201410559509X 申请日:20141020

共 50 条

[1]

批处理式基板处理装置 [P].

许官善 ;

魏光喜 ;

曺载铉 .

中国专利 :CN102301461A ,2011-12-28

[2]

批处理式基板处理装置 [P].

宋钟镐 ;

康浩荣 .

中国专利 :CN103155119A ,2013-06-12

[3]

批处理式基板处理装置 [P].

李炳一 ;

李太浣 ;

柳汉吉 .

中国专利 :CN104005005A ,2014-08-27

[4]

批处理式基板处理装置 [P].

绁竣淏 ;

林铉沃 ;

金楠暻 ;

廉贤真 ;

朴暻完 .

中国专利 :CN104733353B ,2015-06-24

[5]

批处理式基板处理装置 [P].

李炳一 ;

朴暻完 ;

许官善 .

中国专利 :CN105047584A ,2015-11-11

[6]

批处理式基板处理装置 [P].

李炳一 ;

李永浩 ;

金熙锡 .

中国专利 :CN103811380B ,2014-05-21

[7]

集群批处理式基板处理系统 [P].

朴商权 .

中国专利 :CN104658946A ,2015-05-27

[8]

批处理式热处理装置的加热器 [P].

许官善 ;

康浩荣 .

中国专利 :CN102983091A ,2013-03-20

[9]

基板处理方法及基板处理装置 [P].

奥谷学 ;

阿部博史 .

中国专利 :CN110098137A ,2019-08-06

[10]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

吉原直彦 ;

奥谷学 ;

太田乔 ;

阿部博史 .

中国专利 :CN107871691B ,2018-04-03

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