集群批处理式基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410690069.1

申请日：

2014-11-25

公开(公告)号：

CN104658946A

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

朴商权

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755647265 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014106900691 申请公布日:20150527
2015-05-27	公开	公开

共 50 条

[1]

批处理式基板处理装置 [P].

宋钟镐 ;

康浩荣 .

中国专利 :CN103155119A ,2013-06-12

[2]

批处理式基板处理装置 [P].

李炳一 ;

李太浣 ;

柳汉吉 .

中国专利 :CN104005005A ,2014-08-27

[3]

批处理式基板处理装置 [P].

朴暻完 .

中国专利 :CN104576445A ,2015-04-29

[4]

批处理式基板处理装置 [P].

许官善 ;

魏光喜 ;

曺载铉 .

中国专利 :CN102301461A ,2011-12-28

[5]

批处理式基板处理装置 [P].

绁竣淏 ;

林铉沃 ;

金楠暻 ;

廉贤真 ;

朴暻完 .

中国专利 :CN104733353B ,2015-06-24

[6]

批处理式基板处理装置 [P].

李炳一 ;

朴暻完 ;

许官善 .

中国专利 :CN105047584A ,2015-11-11

[7]

批处理式基板处理装置 [P].

李炳一 ;

李永浩 ;

金熙锡 .

中国专利 :CN103811380B ,2014-05-21

[8]

批处理系统 [P].

S·厄派德海厄雅 ;

水野英人 .

中国专利 :CN101821728A ,2010-09-01

[9]

基板处理系统 [P].

金炯剟 ;

郑有善 .

韩国专利 :CN117995716A ,2024-05-07

[10]

基板处理系统 [P].

絏竣淏 .

中国专利 :CN106298589A ,2017-01-04

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