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基板处理系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311428595.6
申请日：
2023-10-31
公开(公告)号：
CN117995716A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
金炯剟
郑有善
申请人：
凯斯科技股份有限公司
申请人地址：
韩国京畿道安城市
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/687
代理机构：
北京冠和权律师事务所 11399
代理人：
张杰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231031 |