基板处理腔室的冷却器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780063969.5

申请日：

2017-07-14

公开(公告)号：

CN109844925A

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

郑龙喆俞泰赫朴帝旻

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道华城市

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京冠和权律师事务所 11399

代理人：

朱健;张国香

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170714
2019-06-04	公开	公开

共 50 条

[1]

用于冷却器的基板及冷却器 [P].

乔基奥·基隆迪 .

中国专利 :CN209163894U ,2019-07-26

[2]

机油冷却器气室腔 [P].

石铁光 .

中国专利 :CN2837519Y ,2006-11-15

[3]

EGR冷却器冷却腔的改良结构 [P].

林雪平 .

中国专利 :CN205349568U ,2016-06-29

[4]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22

[5]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05

[6]

一种三腔室回油冷却器 [P].

王康 .

中国专利 :CN107401857A ,2017-11-28

[7]

用于沉积腔室的基板支撑夹盘冷却 [P].

布赖恩·韦斯特 ;

维贾伊·帕克赫 ;

罗伯特·海拉哈拉 ;

丹·戴永 .

中国专利 :CN105027274A ,2015-11-04

[8]

烘烤后冷却基板的腔室和方法 [P].

迪米特里·卢伯米尔斯基 ;

小道格拉斯·A·布池贝尔格尔 ;

金贤埈 ;

艾伦·L·曹 ;

谢卡尔·阿塔尼 ;

梁奇伟 ;

怡利·Y·叶 .

美国专利 :CN118284857A ,2024-07-02

[9]

用于沉积腔室的基板支撑夹盘冷却 [P].

布赖恩·韦斯特 ;

维贾伊·帕克赫 ;

罗伯特·海拉哈拉 ;

丹·戴永 .

中国专利 :CN108505010B ,2018-09-07

[10]

机油冷却器气室腔的生产工艺及产品 [P].

石铁光 .

中国专利 :CN100391687C ,2006-01-11

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