学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

用于沉积腔室的基板支撑夹盘冷却

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810327043.9
申请日：
2014-03-04
公开(公告)号：
CN108505010B
公开(公告)日：
2018-09-07
发明(设计)人：
布赖恩·韦斯特 维贾伊·帕克赫 罗伯特·海拉哈拉 丹·戴永
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1454 H01L2167 H01L21683
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;赵静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-10-09 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20140304
2018-09-07 公开 公开
2020-04-17 授权 授权
共 50 条
[1]
用于沉积腔室的基板支撑夹盘冷却 [P]. 
布赖恩·韦斯特 ;
维贾伊·帕克赫 ;
罗伯特·海拉哈拉 ;
丹·戴永 .
中国专利 :CN105027274A ,2015-11-04
[2]
用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P]. 
考希克·饶 ;
戈文达·瑞泽 ;
阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;
桑托斯·库马尔·皮拉帕 .
美国专利 :CN111092043B ,2025-01-24
[3]
用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P]. 
考希克·饶 ;
戈文达·瑞泽 ;
阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;
桑托斯·库马尔·皮拉帕 .
中国专利 :CN111092043A ,2020-05-01
[4]
用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P]. 
考希克·饶 ;
戈文达·瑞泽 ;
阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;
桑托斯·库马尔·皮拉帕 .
美国专利 :CN120015685A ,2025-05-16
[5]
用于基板处理腔室的基板支撑件 [P]. 
梁志修 ;
迈克尔·斯特林·杰克逊 ;
吕疆 ;
振雄蔡 ;
松下智治 ;
黄祖滨 .
美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22
[6]
用于基板处理腔室的基板支撑件 [P]. 
梁志修 ;
迈克尔·斯特林·杰克逊 ;
吕疆 ;
振雄蔡 ;
松下智治 ;
黄祖滨 .
美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05
[7]
用于受控沉积的腔室配置 [P]. 
S·S·阿迪帕利 ;
陈玥 ;
蒋志钧 ;
S·斯里瓦斯塔瓦 ;
N·S·乔拉普尔 ;
D·R·B·拉杰 ;
G·奇可卡诺夫 ;
Q·马 ;
A·凯什里 ;
韩新海 ;
G·巴拉苏布拉马尼恩 ;
D·帕德希 .
中国专利 :CN114375486A ,2022-04-19
[8]
用于受控沉积的腔室配置 [P]. 
S·S·阿迪帕利 ;
陈玥 ;
蒋志钧 ;
S·斯里瓦斯塔瓦 ;
N·S·乔拉普尔 ;
D·R·B·拉杰 ;
G·奇可卡诺夫 ;
Q·马 ;
A·凯什里 ;
韩新海 ;
G·巴拉苏布拉马尼恩 ;
D·帕德希 .
美国专利 :CN114375486B ,2024-08-06
[9]
基板处理腔室的冷却器 [P]. 
郑龙喆 ;
俞泰赫 ;
朴帝旻 .
中国专利 :CN109844925A ,2019-06-04
[10]
滚轮衬套与用于处理腔室的基板支撑件 [P]. 
A·波利亚克 .
中国专利 :CN204361070U ,2015-05-27
12345