滚轮衬套与用于处理腔室的基板支撑件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420528314.4

申请日：

2014-09-15

公开(公告)号：

CN204361070U

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

A·波利亚克

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陆勍

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20140915 授权公告日:20150527 终止日期:20200915
2015-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22

[2]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05

[3]

基板支撑件和处理腔室 [P].

金·拉姆库马尔·韦洛尔 .

美国专利 :CN222139349U ,2024-12-10

[4]

基板支撑件、处理腔室和用于在真空处理腔室中从基板支撑件升降基板的升降销 [P].

小温德尔·格伦·博伊德 ;

戈文达·瑞泽 ;

马修·詹姆斯·巴斯彻 .

中国专利 :CN206610799U ,2017-11-03

[5]

用于处理腔室的基板支撑件的处理套组环 [P].

V·N·托多罗 ;

S·巴纳 ;

I·优素福 ;

A·王 ;

G·勒雷 .

中国专利 :CN204206596U ,2015-03-11

[6]

用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P].

考希克·饶 ;

戈文达·瑞泽 ;

阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;

桑托斯·库马尔·皮拉帕 .

美国专利 :CN111092043B ,2025-01-24

[7]

用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P].

考希克·饶 ;

戈文达·瑞泽 ;

阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;

桑托斯·库马尔·皮拉帕 .

美国专利 :CN120015685A ,2025-05-16

[8]

用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P].

考希克·饶 ;

戈文达·瑞泽 ;

阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;

桑托斯·库马尔·皮拉帕 .

中国专利 :CN111092043A ,2020-05-01

[9]

用于处理腔室中的基板处理的被涂覆基板支撑组件 [P].

戴维·约根森 ;

李松宰 ;

王昊 ;

黃奕樵 ;

克里斯托弗·博德瑞 .

美国专利 :CN120077161A ,2025-05-30

[10]

用于基板处理腔室的偏压或浮动处理屏蔽件 [P].

谢祥金 ;

苏哈斯·乌梅什 ;

马丁·李·里克 .

美国专利 :CN120981598A ,2025-11-18

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