基板支撑件和处理腔室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202290000643.4

申请日：

2022-07-13

公开(公告)号：

CN222139349U

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

金·拉姆库马尔·韦洛尔

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

C23C16/458 H01L21/687 H01L21/67

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22

[2]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05

[3]

基板支撑件、处理腔室和用于在真空处理腔室中从基板支撑件升降基板的升降销 [P].

小温德尔·格伦·博伊德 ;

戈文达·瑞泽 ;

马修·詹姆斯·巴斯彻 .

中国专利 :CN206610799U ,2017-11-03

[4]

滚轮衬套与用于处理腔室的基板支撑件 [P].

A·波利亚克 .

中国专利 :CN204361070U ,2015-05-27

[5]

基板处理腔室 [P].

J·约德伏斯基 ;

K·格里芬 .

中国专利 :CN206516610U ,2017-09-22

[6]

重叠的基板支撑件和预热环以及相关工艺套件、处理腔室、方法和部件 [P].

丛者澎 ;

尼姆罗德·史密斯 ;

盛涛 ;

吴贞莹 ;

陈辉 ;

栾欣宁 .

美国专利 :CN120858207A ,2025-10-28

[7]

用于处理腔室的基板支撑件的处理套组环 [P].

V·N·托多罗 ;

S·巴纳 ;

I·优素福 ;

A·王 ;

G·勒雷 .

中国专利 :CN204206596U ,2015-03-11

[8]

定向腔室及处理基板的方法 [P].

洪伟华 .

中国专利 :CN110660706B ,2020-01-07

[9]

用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P].

考希克·饶 ;

戈文达·瑞泽 ;

阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;

桑托斯·库马尔·皮拉帕 .

美国专利 :CN111092043B ,2025-01-24

[10]

用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P].

考希克·饶 ;

戈文达·瑞泽 ;

阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;

桑托斯·库马尔·皮拉帕 .

美国专利 :CN120015685A ,2025-05-16

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