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用于沉积腔室的基板支撑件设计

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510082594.3
申请日：
2019-08-05
公开(公告)号：
CN120015685A
公开(公告)日：
2025-05-16
发明(设计)人：
考希克·饶 戈文达·瑞泽 阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 桑托斯·库马尔·皮拉帕
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;吴启超
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-03 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20190805
2025-05-16 公开 公开
共 50 条
[1]
用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P]. 
考希克·饶 ;
戈文达·瑞泽 ;
阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;
桑托斯·库马尔·皮拉帕 .
美国专利 :CN111092043B ,2025-01-24
[2]
用于沉积腔室的基板支撑件设计 [P]. 
考希克·饶 ;
戈文达·瑞泽 ;
阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;
桑托斯·库马尔·皮拉帕 .
中国专利 :CN111092043A ,2020-05-01
[3]
用于基板处理腔室的基板支撑件 [P]. 
梁志修 ;
迈克尔·斯特林·杰克逊 ;
吕疆 ;
振雄蔡 ;
松下智治 ;
黄祖滨 .
美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22
[4]
用于基板处理腔室的基板支撑件 [P]. 
梁志修 ;
迈克尔·斯特林·杰克逊 ;
吕疆 ;
振雄蔡 ;
松下智治 ;
黄祖滨 .
美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05
[5]
用于沉积腔室的基板支撑夹盘冷却 [P]. 
布赖恩·韦斯特 ;
维贾伊·帕克赫 ;
罗伯特·海拉哈拉 ;
丹·戴永 .
中国专利 :CN105027274A ,2015-11-04
[6]
用于沉积腔室的基板支撑夹盘冷却 [P]. 
布赖恩·韦斯特 ;
维贾伊·帕克赫 ;
罗伯特·海拉哈拉 ;
丹·戴永 .
中国专利 :CN108505010B ,2018-09-07
[7]
基板支撑件 [P]. 
考希克·饶 ;
戈文达·瑞泽 ;
阿努巴霍夫·斯利瓦斯塔瓦 ;
桑托斯·库马尔·皮拉帕 .
中国专利 :CN210443540U ,2020-05-01
[8]
基板支撑件和处理腔室 [P]. 
金·拉姆库马尔·韦洛尔 .
美国专利 :CN222139349U ,2024-12-10
[9]
基板支撑件、处理腔室和用于在真空处理腔室中从基板支撑件升降基板的升降销 [P]. 
小温德尔·格伦·博伊德 ;
戈文达·瑞泽 ;
马修·詹姆斯·巴斯彻 .
中国专利 :CN206610799U ,2017-11-03
[10]
滚轮衬套与用于处理腔室的基板支撑件 [P]. 
A·波利亚克 .
中国专利 :CN204361070U ,2015-05-27
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