用于处理腔室中的基板处理的被涂覆基板支撑组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380073727.X

申请日：

2023-07-13

公开(公告)号：

CN120077161A

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

戴维·约根森李松宰王昊黃奕樵克里斯托弗·博德瑞

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C16/02

IPC分类号：

C23C18/32 C23C16/40 C23C16/30 C23C16/455 C23C16/458 C23C28/00 C23C28/04

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/02申请日:20230713
2025-05-30	公开	公开

共 50 条

[1]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22

[2]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05

[3]

用于处理基板的基板支撑组件 [P].

K·高希 ;

M·G·库尔卡尼 ;

S·巴录佳 ;

P·P·贾 ;

K·尼塔拉 .

中国专利 :CN207925445U ,2018-09-28

[4]

基板支撑组件和处理腔室 [P].

麦特斯·拉尔森 .

中国专利 :CN210123727U ,2020-03-03

[5]

基板支撑件、处理腔室和用于在真空处理腔室中从基板支撑件升降基板的升降销 [P].

小温德尔·格伦·博伊德 ;

戈文达·瑞泽 ;

马修·詹姆斯·巴斯彻 .

中国专利 :CN206610799U ,2017-11-03

[6]

具有顶部基板支撑组件的热处理腔室 [P].

欧勒格·塞雷布里安诺夫 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN104040703B ,2014-09-10

[7]

具有顶部基板支撑组件的热处理腔室 [P].

欧勒格·塞雷布里安诺夫 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN106935532B ,2017-07-07

[8]

用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置 [P].

洛克莎·雷迪 ;

莱内尔·欣特舒斯特 ;

苏哈斯·博斯基 ;

U·穆卡迪·南迦帕 .

美国专利 :CN223468434U ,2025-10-24

[9]

用于处理腔室的基板支撑件的处理套组环 [P].

V·N·托多罗 ;

S·巴纳 ;

I·优素福 ;

A·王 ;

G·勒雷 .

中国专利 :CN204206596U ,2015-03-11

[10]

基板支撑组件以及用于处理基板的设备 [P].

A·恩古耶 ;

Y·萨罗德维舍瓦纳斯 ;

T·K·赵 .

中国专利 :CN110690098A ,2020-01-14

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