基板支撑组件和处理腔室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921006040.1

申请日：

2019-06-28

公开(公告)号：

CN210123727U

公开(公告)日：

2020-03-03

发明(设计)人：

麦特斯·拉尔森

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-03	授权	授权

共 50 条

[1]

具有顶部基板支撑组件的热处理腔室 [P].

欧勒格·塞雷布里安诺夫 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN104040703B ,2014-09-10

[2]

具有顶部基板支撑组件的热处理腔室 [P].

欧勒格·塞雷布里安诺夫 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN106935532B ,2017-07-07

[3]

用于处理腔室中的基板处理的被涂覆基板支撑组件 [P].

戴维·约根森 ;

李松宰 ;

王昊 ;

黃奕樵 ;

克里斯托弗·博德瑞 .

美国专利 :CN120077161A ,2025-05-30

[4]

支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室 [P].

王桐 .

中国专利 :CN110504207A ,2019-11-26

[5]

处理腔室和控制朝向基板支撑组件引导的气体的量的方法 [P].

A·K·班塞尔 ;

J·C·罗查-阿尔瓦瑞兹 ;

S·巴录佳 ;

S·H·金 ;

T·A·恩古耶 .

中国专利 :CN107359105A ,2017-11-17

[6]

用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置 [P].

洛克莎·雷迪 ;

莱内尔·欣特舒斯特 ;

苏哈斯·博斯基 ;

U·穆卡迪·南迦帕 .

美国专利 :CN223468434U ,2025-10-24

[7]

基板支撑装置及装卸载腔室 [P].

张杨 .

中国专利 :CN205692817U ,2016-11-16

[8]

多腔室基板处理系统 [P].

J·约德伏斯基 ;

N·B·帕蒂班德拉 ;

P·K·纳万卡尔 ;

L-Q·夏 ;

藤田敏明 ;

R·霍夫曼 ;

J·吴 ;

S·萨蒂亚 ;

B·吴 .

中国专利 :CN104081514B ,2014-10-01

[9]

用于处理基板的基板支撑组件 [P].

K·高希 ;

M·G·库尔卡尼 ;

S·巴录佳 ;

P·P·贾 ;

K·尼塔拉 .

中国专利 :CN207925445U ,2018-09-28

[10]

基板支撑组件及基板处理装置 [P].

李炫宗 ;

丁青焕 ;

南镐振 ;

李忠显 ;

权渔真 .

中国专利 :CN114551330A ,2022-05-27

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