一种高精密MEMS圆片光刻装置

被引：0

申请号：

CN202122474872.X

申请日：

2021-10-14

公开(公告)号：

CN216718900U

公开(公告)日：

2022-06-10

发明(设计)人：

朱丰任强张琦寿允丰

申请人：

申请人地址：

314001 浙江省嘉兴市南湖区亚中路551号2号楼1层101室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253

代理人：

熊亮亮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种MEMS圆片双面步进光刻方法 [P].

王文婧 ;

郭群英 ;

吕东锋 ;

徐栋 ;

黄斌 ;

陈璞 ;

陈博 ;

王鹏 ;

何凯旋 ;

刘磊 ;

庄须叶 .

中国专利 :CN103558740A ,2014-02-05

[2]

高精密车外圆定位装置 [P].

范罗荣 .

中国专利 :CN203566385U ,2014-04-30

[3]

一种高精密水阀片 [P].

景凤 ;

崔勇 ;

马永泰 ;

刘洪波 ;

刘佳 ;

王雪平 ;

侯飞 ;

张刚 ;

孙建 ;

邓德刚 ;

王绍强 ;

景卫东 .

中国专利 :CN223035720U ,2025-06-27

[4]

一种高精密多片印刷装置 [P].

周群飞 .

中国专利 :CN203371891U ,2014-01-01

[5]

一种高精密表面粗糙测试装置 [P].

彭发根 .

中国专利 :CN208488086U ,2019-02-12

[6]

一种高精密的复合齿轮 [P].

徐志忠 .

中国专利 :CN220791968U ,2024-04-16

[7]

一种高精密搬送叠片装置 [P].

鲁乾坤 ;

赵润川 ;

黄黎明 .

中国专利 :CN211700313U ,2020-10-16

[8]

一种高精密带钢热压装置 [P].

钱金伟 .

中国专利 :CN218015349U ,2022-12-13

[9]

一种高精密ITO薄膜激光刻蚀机 [P].

李林松 .

中国专利 :CN208644396U ,2019-03-26

[10]

一种高精密数控专用外圆磨床 [P].

李在俊 .

中国专利 :CN212399021U ,2021-01-26

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