一种湿法腐蚀蓝宝石图形衬底的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410038260.4

申请日：

2004-05-18

公开(公告)号：

CN1294649C

公开(公告)日：

2005-11-23

发明(设计)人：

陈弘王晶贾海强郭丽伟周均铭李卫汪洋邢志刚

申请人：

申请人地址：

100080北京市海淀区中关村南三街8号

IPC主分类号：

H01L2184

IPC分类号：

H01L2102 H01L3300 H01L3118 H01S500

代理机构：

北京泛华伟业知识产权代理有限公司

代理人：

王凤华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-11-23	公开	公开
2007-01-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种干法与湿法混合制备蓝宝石图形衬底的方法 [P].

邵慧慧 ;

曲爽 ;

王成新 ;

李树强 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN102064088A ,2011-05-18

[2]

蓝宝石图形衬底的制备方法 [P].

段瑞飞 ;

季安 ;

伊晓燕 ;

王莉 ;

樊中朝 ;

郭金霞 ;

潘岭峰 ;

黄亚军 ;

赵冀 ;

李镇 .

中国专利 :CN103219437A ,2013-07-24

[3]

一种蓝宝石图形衬底的制备方法 [P].

韩沈丹 ;

黄宏嘉 .

中国专利 :CN104485406A ,2015-04-01

[4]

蓝宝石图形衬底的制备方法 [P].

谢雪峰 .

中国专利 :CN101471404B ,2009-07-01

[5]

一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法 [P].

丁海生 ;

李东昇 ;

马新刚 ;

江忠永 ;

张昊翔 ;

王洋 ;

李书文 ;

李超 ;

黄捷 .

中国专利 :CN102694090A ,2012-09-26

[6]

蓝宝石图形衬底以及制作蓝宝石图形衬底的掩膜版和方法 [P].

晏小平 ;

李成立 ;

顾威威 ;

王武 .

中国专利 :CN107342349A ,2017-11-10

[7]

一种蓝宝石图形衬底的制备方法 [P].

刘岩 ;

王德晓 ;

邵慧慧 ;

刘存志 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN102867890B ,2013-01-09

[8]

一种湿法腐蚀与干法刻蚀相结合图形化蓝宝石的方法 [P].

张建宝 ;

顾小云 .

中国专利 :CN102184842B ,2011-09-14

[9]

蓝宝石图形衬底的制作方法 [P].

江风益 .

中国专利 :CN101814426A ,2010-08-25

[10]

一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法 [P].

夏鼎智 .

中国专利 :CN104576845A ,2015-04-29

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