一种湿法腐蚀与干法刻蚀相结合图形化蓝宝石的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110078480.X

申请日：

2011-03-30

公开(公告)号：

CN102184842B

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

张建宝顾小云

申请人：

申请人地址：

430223 湖北省武汉市光谷滨湖路8号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

江西省专利事务所 36100

代理人：

胡里程

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127312059 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:201110078480X 申请日:20110330
2012-11-07	授权	授权
2011-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀方法 [P].

袁根如 ;

郝茂盛 ;

王来 .

中国专利 :CN102254809B ,2011-11-23

[2]

一种干法刻蚀中图形化蓝宝石衬底用托盘 [P].

吕承鹏 ;

于玉斋 ;

张洋洋 ;

王明明 ;

吕飞 ;

郑锦涛 .

中国专利 :CN108538768A ,2018-09-14

[3]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

杨新鹏 ;

刘建哲 ;

彭艳亮 ;

郑小琳 ;

金良荣 ;

李庆跃 ;

吴宗泽 ;

池旭明 ;

王臻 ;

潘安练 .

中国专利 :CN204905228U ,2015-12-23

[4]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

杨新鹏 ;

刘建哲 ;

彭艳亮 ;

郑小琳 ;

金良荣 ;

李庆跃 ;

吴宗泽 ;

池旭明 ;

王臻 ;

潘安练 .

中国专利 :CN105185735A ,2015-12-23

[5]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

彭艳亮 ;

史伟言 ;

徐良 ;

刘建哲 ;

江虹 .

中国专利 :CN211788945U ,2020-10-27

[6]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[7]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037402A ,2018-12-18

[8]

一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构 [P].

彭艳亮 ;

李昌勋 ;

刘建哲 ;

徐良 ;

李京波 ;

夏建白 .

中国专利 :CN212517142U ,2021-02-09

[9]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘 [P].

史伟言 ;

李昌勋 ;

朱伟明 ;

刘建哲 ;

徐良 .

中国专利 :CN209592008U ,2019-11-05

[10]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102129971A ,2011-07-20

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