一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021628683.2

申请日：

2020-08-07

公开(公告)号：

CN212517142U

公开(公告)日：

2021-02-09

发明(设计)人：

彭艳亮李昌勋刘建哲徐良李京波夏建白

申请人：

申请人地址：

245000 安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128

代理人：

曹宏筠

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘 [P].

史伟言 ;

李昌勋 ;

朱伟明 ;

刘建哲 ;

徐良 .

中国专利 :CN209592008U ,2019-11-05

[2]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

杨新鹏 ;

刘建哲 ;

彭艳亮 ;

郑小琳 ;

金良荣 ;

李庆跃 ;

吴宗泽 ;

池旭明 ;

王臻 ;

潘安练 .

中国专利 :CN204905228U ,2015-12-23

[3]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

彭艳亮 ;

史伟言 ;

徐良 ;

刘建哲 ;

江虹 .

中国专利 :CN211788945U ,2020-10-27

[4]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

杨新鹏 ;

刘建哲 ;

彭艳亮 ;

郑小琳 ;

金良荣 ;

李庆跃 ;

吴宗泽 ;

池旭明 ;

王臻 ;

潘安练 .

中国专利 :CN105185735A ,2015-12-23

[5]

一种干法刻蚀中图形化蓝宝石衬底用托盘 [P].

吕承鹏 ;

于玉斋 ;

张洋洋 ;

王明明 ;

吕飞 ;

郑锦涛 .

中国专利 :CN108538768A ,2018-09-14

[6]

一种图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀方法 [P].

袁根如 ;

郝茂盛 ;

王来 .

中国专利 :CN102254809B ,2011-11-23

[7]

一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置 [P].

付星星 ;

康凯 ;

陆前军 .

中国专利 :CN207637772U ,2018-07-20

[8]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[9]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037402A ,2018-12-18

[10]

一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘 [P].

张洋洋 ;

丁建峰 ;

王刚 ;

潘晓忠 ;

姚志炎 .

中国专利 :CN217881429U ,2022-11-22

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