一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520606291.9

申请日：

2015-08-13

公开(公告)号：

CN204905228U

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

杨新鹏刘建哲彭艳亮郑小琳金良荣李庆跃吴宗泽池旭明王臻潘安练

申请人：

申请人地址：

321016 浙江省金华市宾虹西路555号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3300

代理机构：

金华科源专利事务所有限公司 33103

代理人：

胡杰平

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人变更前:浙江东晶博蓝特光电有限公司变更后:浙江博蓝特半导体科技股份有限公司变更事项:地址变更前:321016 浙江省金华市宾虹西路555号变更后:321000 浙江省金华市南二环西路2688号
2015-12-23	授权	授权
2022-04-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20220419 变更事项:专利权人变更前权利人:浙江博蓝特半导体科技股份有限公司变更后权利人:黄山博蓝特半导体科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:321000 浙江省金华市南二环西路2688号变更后权利人:245000 安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号

共 50 条

[1]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

杨新鹏 ;

刘建哲 ;

彭艳亮 ;

郑小琳 ;

金良荣 ;

李庆跃 ;

吴宗泽 ;

池旭明 ;

王臻 ;

潘安练 .

中国专利 :CN105185735A ,2015-12-23

[2]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘 [P].

彭艳亮 ;

史伟言 ;

徐良 ;

刘建哲 ;

江虹 .

中国专利 :CN211788945U ,2020-10-27

[3]

一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘 [P].

史伟言 ;

李昌勋 ;

朱伟明 ;

刘建哲 ;

徐良 .

中国专利 :CN209592008U ,2019-11-05

[4]

一种干法刻蚀中图形化蓝宝石衬底用托盘 [P].

吕承鹏 ;

于玉斋 ;

张洋洋 ;

王明明 ;

吕飞 ;

郑锦涛 .

中国专利 :CN108538768A ,2018-09-14

[5]

一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构 [P].

彭艳亮 ;

李昌勋 ;

刘建哲 ;

徐良 ;

李京波 ;

夏建白 .

中国专利 :CN212517142U ,2021-02-09

[6]

一种图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀方法 [P].

袁根如 ;

郝茂盛 ;

王来 .

中国专利 :CN102254809B ,2011-11-23

[7]

一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘 [P].

张洋洋 ;

丁建峰 ;

王刚 ;

潘晓忠 ;

姚志炎 .

中国专利 :CN217881429U ,2022-11-22

[8]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[9]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037402A ,2018-12-18

[10]

一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置 [P].

付星星 ;

康凯 ;

陆前军 .

中国专利 :CN207637772U ,2018-07-20

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