晶舟盒辅助装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621382686.6

申请日：

2016-12-16

公开(公告)号：

CN206412325U

公开(公告)日：

2017-08-15

发明(设计)人：

赵虎明

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市中山北路2379号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

翁斌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-15	授权	授权
2019-12-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20161216 授权公告日:20170815 终止日期:20181216

共 50 条

[1]

晶舟辅助装置 [P].

罗志仁 ;

戴碧辉 ;

邹俊杰 ;

陈秀怡 ;

蒋文国 .

中国专利 :CN101159244A ,2008-04-09

[2]

聂伟 ;

陈志远 .

中国专利 :CN216698313U ,2022-06-07

[3]

晶舟盒夜视装置 [P].

佐佐木大辅 .

中国专利 :CN223414036U ,2025-10-03

[4]

晶舟盒储存装置 [P].

吕忠宪 ;

张任玮 ;

林柏彣 ;

吕呈祥 ;

佐佐木大辅 .

中国专利 :CN221215287U ,2024-06-25

[5]

金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车 [P].

欧阳婧 ;

徐波 ;

赵娟 .

中国专利 :CN204155913U ,2015-02-11

[6]

晶舟盒转换装置 [P].

刘方军 .

中国专利 :CN210467794U ,2020-05-05

[7]

晶舟辅助装置及原子层沉积系统 [P].

刘焕新 .

中国专利 :CN202705467U ,2013-01-30

[8]

晶舟盒防滑把手 [P].

付波 .

中国专利 :CN213535719U ,2021-06-25

[9]

晶圆盒包装辅助装置 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN202601593U ,2012-12-12

[10]

晶舟装置 [P].

蔚海波 ;

曹巍 ;

王杰 .

中国专利 :CN221708673U ,2024-09-13

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