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晶舟辅助装置及原子层沉积系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220327712.0
申请日：
2012-07-06
公开(公告)号：
CN202705467U
公开(公告)日：
2013-01-30
发明(设计)人：
刘焕新
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
C23C16458
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-05-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101593004709 IPC(主分类):C23C 16/458 专利号:ZL2012203277120 登记生效日:20130425 |
| 2013-01-30 | 授权 | 授权 |
| 2019-06-28 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20120706 授权公告日:20130130 终止日期:20180706 |