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原子层沉积装置及原子层沉积方法
被引：0
申请号：
CN202011089730.5
申请日：
2020-10-13
公开(公告)号：
CN114351116A
公开(公告)日：
2022-04-15
发明(设计)人：
郭世根
项金娟
刘青
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人：
何家鹏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-15 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20201013 |