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原子层沉积装置及原子层沉积系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201580010609.X
申请日：
2015-02-27
公开(公告)号：
CN106030848B
公开(公告)日：
2016-10-12
发明(设计)人：
曹生贤
申请人：
申请人地址：
韩国大田广域市
IPC主分类号：
H01L5156
IPC分类号：
H01L21205
代理机构：
北京鼎承知识产权代理有限公司 11551
代理人：
李伟波;管莹
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-26 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 51/56 登记生效日:20180607 变更事项:专利权人 变更前权利人:VNI斯陆深株式会社 变更后权利人:应用材料公司 变更事项:地址 变更前权利人:韩国大田广域市 变更后权利人:美国加利福尼亚州 |
| 2016-10-12 | 公开 | 公开 |
| 2018-05-04 | 授权 | 授权 |
| 2022-02-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20150227 授权公告日:20180504 终止日期:20210227 |
| 2016-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101687275501 IPC(主分类):H01L 51/56 专利申请号:201580010609X 申请日:20150227 |