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原子层沉积装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821614962.6
申请日：
2018-09-30
公开(公告)号：
CN209128536U
公开(公告)日：
2019-07-19
发明(设计)人：
李丙科
陈庆敏
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区鸿山街道锡协路208-10号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1644
代理机构：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：
王闯;葛莉华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-19 | 授权 | 授权 |