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用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111150239.3
申请日：
2021-09-29
公开(公告)号：
CN114040526A
公开(公告)日：
2022-02-11
发明(设计)人：
徐宏林 吴杰 黄永杰
申请人：
申请人地址：
201608 上海市松江区叶榭镇叶繁路24号B区
IPC主分类号：
H05B322
IPC分类号：
H05B306 H05B304 B21D2204 C23C408 C23C4131 C23C1644
代理机构：
上海得民颂知识产权代理有限公司 31379
代理人：
陈开山
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-01 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H05B 3/22 申请日:20210929
2022-02-11 公开 公开
共 50 条
[1]
异形CVD镀膜加热器 [P]. 
黄永杰 .
中国专利 :CN222684757U ,2025-03-28
[2]
加热均匀的板状加热器 [P]. 
徐宏林 ;
黄永杰 ;
陈友琴 .
中国专利 :CN223379326U ,2025-09-23
[3]
板状加热器加工装置 [P]. 
邵鹏飞 ;
曹庆荣 ;
朱恒法 .
中国专利 :CN223518346U ,2025-11-07
[4]
一种具有分区加热结构的CVD板状加热器 [P]. 
徐宏林 .
中国专利 :CN221297059U ,2024-07-09
[5]
易于控温的板状加热器 [P]. 
徐宏林 .
中国专利 :CN215073024U ,2021-12-07
[6]
板状陶瓷加热器 [P]. 
马志明 .
中国专利 :CN204350327U ,2015-05-20
[7]
板状陶瓷加热器 [P]. 
马志明 .
中国专利 :CN104619054A ,2015-05-13
[8]
绳状加热器、面状加热器以及面状加热器的制造方法 [P]. 
和田彰文 ;
铃木唯郎 .
中国专利 :CN110870383B ,2020-03-06
[9]
圆盘状加热器以及加热器冷却板组件 [P]. 
竹林央史 ;
鸟居谦悟 .
中国专利 :CN108475656A ,2018-08-31
[10]
板状加热器、加热单元和热缩机 [P]. 
王震 ;
朱艺群 ;
顾峥 .
中国专利 :CN118632395A ,2024-09-10
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