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化学增强的光刻胶
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN98100726.0
申请日：
1998-03-12
公开(公告)号：
CN1193753A
公开(公告)日：
1998-09-23
发明(设计)人：
井谷俊郎
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G03F7039
IPC分类号：
代理机构：
中科专利代理有限责任公司
代理人：
卢纪
法律状态：
专利申请权、专利权的转移专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2003-09-10 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:日本电气株式会社 变更后权利人:恩益禧电子股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本国东京都 变更后权利人:日本神奈川县 登记生效日:20030801 |
| 2003-05-28 | 授权 | 授权 |
| 1998-09-23 | 公开 | 公开 |
| 1999-11-24 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2005-05-11 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |