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化学增强的光刻胶
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN98120186.5
申请日：
1998-10-23
公开(公告)号：
CN1220414A
公开(公告)日：
1999-06-23
发明(设计)人：
井谷俊郎
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
中科专利代理有限责任公司
代理人：
严舫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1999-06-23 | 公开 | 公开 |
| 1999-05-26 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2004-12-22 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |
| 2003-06-04 | 授权 | 授权 |