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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-09-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2010-12-29 | 授权 | 授权 |
| 2009-07-22 | 公开 | 公开 |
| 2017-07-04 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 专利号:ZL2009100470311 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754750428 IPC(主分类):G12B 9/10 |