等离子体处理装置和等离子体控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110235895.3

申请日：

2011-08-11

公开(公告)号：

CN102376521A

公开(公告)日：

2012-03-14

发明(设计)人：

輿水地盐传宝一树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H05H146

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101231929501 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2011102358953 申请日:20110811
2012-03-14	公开	公开
2015-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

王汤贵 ;

大石哲也 ;

浦川理史 ;

森北信也 .

日本专利 :CN119522474A ,2025-02-25

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

丸山幸儿 ;

堀口将人 ;

松木哲理 ;

舆石公 .

中国专利 :CN105379428B ,2016-03-02

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

早川欣延 ;

花冈秀敏 ;

儿玉法明 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101047113A ,2007-10-03

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

木原嘉英 ;

本田昌伸 ;

久松亨 .

中国专利 :CN105316639B ,2016-02-10

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

本田昌伸 .

中国专利 :CN102209426B ,2011-10-05

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

贝岛祥 .

中国专利 :CN115440563A ,2022-12-06

[10]

等离子体处理装置和等离子体产生装置 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103805968A ,2014-05-21

← 1 2 3 4 5 →