单晶硅区熔拉伸炉控制系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210292435.9
申请日
2012-08-17
公开(公告)号
CN102828233A
公开(公告)日
2012-12-19
发明(设计)人
李杰 陆晓阳
申请人
申请人地址
618000 四川省德阳市旌阳工业集中发展区天武路以东
IPC主分类号
C30B1328
IPC分类号
代理机构
成都蓉信三星专利事务所 51106
代理人
刘克勤
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶硅区熔拉伸炉控制系统 [P]. 
李杰 ;
陆晓阳 .
中国专利 :CN202865389U ,2013-04-10
[2]
区熔单晶硅炉 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN2913390Y ,2007-06-20
[3]
区熔单晶硅生长炉 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN2913391Y ,2007-06-20
[4]
单晶硅炉控制装置 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN2913393Y ,2007-06-20
[5]
区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 [P]. 
盛耀昌 ;
张印赤 .
中国专利 :CN2071322U ,1991-02-13
[6]
一种单晶炉、单晶硅生长控制系统及方法 [P]. 
张志强 .
中国专利 :CN120465096A ,2025-08-12
[7]
一种区熔单晶硅棒拉制炉 [P]. 
刘芳 ;
张琴 ;
李向东 .
中国专利 :CN222684838U ,2025-03-28
[8]
一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 [P]. 
陈春成 ;
戚建静 ;
徐芳 .
中国专利 :CN222119464U ,2024-12-06
[9]
一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 [P]. 
杨光宇 .
中国专利 :CN211814708U ,2020-10-30
[10]
单晶硅直径测量控制系统 [P]. 
郭兵健 ;
徐一俊 ;
黄笑容 ;
万喜增 ;
陈功 ;
蒋委达 .
中国专利 :CN201952525U ,2011-08-31