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扫描电镜样品的定位装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910534793.8
申请日：
2019-06-20
公开(公告)号：
CN110197783A
公开(公告)日：
2019-09-03
发明(设计)人：
原园
杨继进
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路19号
IPC主分类号：
H01J3720
IPC分类号：
H01J3728
G01N232204
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
张晓霞;刘芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/20 申请日:20190620 |
| 2019-09-03 | 公开 | 公开 |
| 2020-04-28 | 授权 | 授权 |