载台支承装置、对准装置、成膜装置、掩模载置方法、成膜方法及电子器件的制造方法

被引：0

申请号：

CN202210914771.6

申请日：

2022-08-01

公开(公告)号：

CN115701649A

公开(公告)日：

2023-02-10

发明(设计)人：

铃木健太郎三泽启太佐藤精二永田哲也

申请人：

申请人地址：

日本新泻县

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2168 H10K7100 C23C1404 C23C1412 C23C1450 C23C1454

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

李双亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-10	公开	公开

共 50 条

[1]

对准装置、成膜装置、对准方法、成膜方法及电子器件的制造方法 [P].

神田宽 .

中国专利 :CN114622160A ,2022-06-14

[2]

对准装置、成膜装置、对准方法、成膜方法及电子器件的制造方法 [P].

绪方俊宏 ;

谷和宪 ;

安川英宏 .

中国专利 :CN114540758A ,2022-05-27

[3]

对准装置、成膜装置、对准方法、成膜方法及电子器件的制造方法 [P].

长沼义人 .

日本专利 :CN118880230A ,2024-11-01

[4]

对准装置、成膜装置、对准方法、成膜方法及电子器件的制造方法 [P].

大川显 ;

山本武 ;

盐入信朗 ;

佐藤和之 .

日本专利 :CN121228168A ,2025-12-30

[5]

对准及成膜装置、对准及成膜方法、电子器件的制造方法 [P].

柏仓一史 ;

石井博 .

中国专利 :CN111118445A ,2020-05-08

[6]

对准及成膜装置、对准及成膜方法、电子器件的制造方法 [P].

菅原洋纪 .

中国专利 :CN113005419A ,2021-06-22

[7]

载置器、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法 [P].

锅岛健 ;

铃木健太郎 ;

佐藤精二 ;

永田哲也 ;

三泽启太 ;

桐生一马 ;

甲斐透 ;

砂川重幸 ;

高野秀人 ;

市川洋平 .

中国专利 :CN114134477A ,2022-03-04

[8]

对准装置、对准方法、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法 [P].

中须祥浩 ;

青木泰一郎 ;

铃木健太郎 ;

冈部俊介 .

中国专利 :CN112795868A ,2021-05-14

[9]

成膜装置、掩模、成膜方法及电子器件的制造方法 [P].

长冈健 ;

市原正浩 .

日本专利 :CN119372592A ,2025-01-28

[10]

对准装置、成膜装置、对准方法及电子器件的制造方法 [P].

泷泽毅 ;

川畑奉代 ;

石井博 ;

佐藤和之 ;

吉津直人 ;

佐藤智之 ;

小林康信 .

日本专利 :CN119517821A ,2025-02-25

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