共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-04 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 27/105 申请日:20010516 授权公告日:20051019 |
| 2003-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2002-02-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2005-10-19 | 授权 | 授权 |
| 2002-12-18 | 公开 | 公开 |